真空碳管燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟（潤滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行，燒結(jié)時需要對燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行的控制。 真空碳管燒結(jié)爐主要用于工業(yè)陶瓷、結(jié)構(gòu)陶瓷、金屬陶瓷、硬質(zhì)合金行業(yè)作為材料在氣氛和壓力條件下的燒結(jié)設(shè)備。系周期作業(yè)式電爐，它是以優(yōu)質(zhì)石墨作發(fā)熱體的高溫、高真空電阻爐，額定溫度為2000℃。在特殊需要的情況下，允許在保護(hù)氣氛中，短時間工作到2400℃-2500℃。可供金屬、難熔化合物及陶瓷材料等在真空或保護(hù)氣氛中加熱之用。
真空碳管燒結(jié)爐的安裝使用注意事項：
1、安裝：安裝真空燒結(jié)爐的場所應(yīng)符合真空衛(wèi)生的要求，周圍的空氣應(yīng)清潔和干燥，并有良好的通風(fēng)條件，工作場地不易揚(yáng)起灰塵等。
2、檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好。
3、控制柜安裝在相應(yīng)的地基上，并固定。
4、安照接線圖，并參考電氣原理圖，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保證接線無誤。
5、檢查電器可動部分應(yīng)活動自如，無卡死現(xiàn)象。
6、絕緣電阻應(yīng)不低于2兆歐姆。
7、真空電爐各閥門必須在關(guān)閉位置。
8、控制電源開關(guān)放在關(guān)位。
9、手動調(diào)壓旋鈕逆時針旋動頭。
10、報警鈕放在開位。
11、按平面圖完成設(shè)備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接，建議用戶在設(shè)備總進(jìn)出水管處再接入一備用水（可用自來水），防止循環(huán)水有故障或斷電導(dǎo)致密封圈燒壞。
