真空熱壓爐是在真空高壓下制備致密化合物材料的理想工具，在5噸壓力下可鍵合多層基片。爐子可以加熱到1100℃并且30段程序控溫。帶水冷的法蘭可使真空度達(dá)到10-5Torr（用分子泵）。真空熱壓爐廣泛應(yīng)用于硬質(zhì)合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高溫、高真空條件下進(jìn)行熱壓燒結(jié)處理，也可在充氣保護(hù)情況下熱壓成形燒結(jié)。
真空熱壓爐主要由爐體、爐門、加熱與保溫及測(cè)溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)等組成。真空熱壓爐為周期作業(yè)式，廣泛應(yīng)用于硬質(zhì)合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高溫、高真空條件下進(jìn)行熱壓燒結(jié)處理，也可在充氣保護(hù)情況下熱壓成形燒結(jié)。
爐體為立式爐殼，其內(nèi)層為不銹鋼制成的圓筒，外層為碳鋼。爐體分為兩部分，其中三分之一為爐蓋可手動(dòng)*側(cè)開門，三分之二部分為固定爐體，設(shè)計(jì)*，便于操作。兩層之間形成夾套可以通冷卻水將傳到爐殼上的熱量帶走，使?fàn)t壁溫度不超過60℃，其上下法蘭焊接為一個(gè)整體。中間開有紅外測(cè)溫孔（有保護(hù)氣氛通氣口），熱電偶測(cè)溫孔、抽氣孔及觀察孔，鉑銠熱電偶有到溫自動(dòng)退出裝置，紅外測(cè)溫觀察孔有玻璃氣吹防霧裝置，操作人員使用的觀察孔設(shè)有擋板。
真空系統(tǒng)：由油擴(kuò)散泵、羅茨泵、機(jī)械泵配電磁壓差閥（防止因突然停電、機(jī)械泵油倒灌）充氣閥、放氣閥、真空蝶閥、真空壓力表（±Pa）波紋管、真空管路和支架等組成。
液壓系統(tǒng)：采用電動(dòng)輸入方式。由液壓站配有進(jìn)口比例閥、壓力傳感器、位移顯示器采用光柵尺（測(cè)距精度0.02mm）、液壓缸等相關(guān)液壓裝置，壓力調(diào)節(jié)半自動(dòng)化、可通過手動(dòng)調(diào)節(jié)。儀表可設(shè)定自動(dòng)調(diào)節(jié)壓力，并能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)壓、保壓。
水冷系統(tǒng)：由各種閥管道相關(guān)裝置組成且設(shè)有斷水聲光報(bào)警自動(dòng)切斷加熱源或功能。
溫控系統(tǒng)：采用可控硅控溫，配置有PID功能儀表，數(shù)顯表，具有超溫聲光報(bào)警功能，也可選用PLC觸摸屏自動(dòng)控制，并保留歷史數(shù)據(jù)，便于分析燒結(jié)過程。
充氣系統(tǒng)：由各種管道及閥門組成，并配有電磁放氣閥、壓力傳感器，當(dāng)爐內(nèi)壓力高于安全值時(shí)會(huì)自動(dòng)放氣，充氣管路上裝有針閥，可控制充氣量
